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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:TN-O1200-50IT-3Z-HV
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵租組成。該1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握。
詳情介紹:

TN-O1200-50IT-3Z-HV1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵組構(gòu)成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率,1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計,精度高可靠性強,可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達(dá)到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實驗環(huán)境。

應(yīng)用范圍:高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗


名稱
1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)
型號
TN-O1200-50IT-3Z-HV
參數(shù)
  1. 1、供電電源:AC:220V 50/60Hz
  2. 2、爐管  材質(zhì):高純石英; 尺寸:直徑50mm(可選配60mm、80mm100mm)、長度800mm(爐膛長度:440mm)
  3. 3、加熱區(qū):長400mm;  恒溫區(qū):長200mm
  4. 4、工作溫度:0~1100℃; 控溫精度:±1℃; 
  5. 5、控溫模式:30段或50段程序控溫
  6. 6、顯示模式:LCD
  7. 7、密封方式 :304不銹鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
  8. 8、可抽真空:4.4E-3Pa
  1. 9、供氣系統(tǒng):TN-3Z  3通道氣體通道
         測量部件:氣體質(zhì)量流量計
         測量量程:A通道:0~100SCCM    H2氣
                         B通道:0~300SCCM    N2氣
                         C通道:0~500SCCM    Ar氣
     備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需特別注明。根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。
        測量精度:±1.0%F.S
        管道耐壓:3MPa
        工作壓差:50~300KPa
        連接管道:304不銹鋼
        控制閥門:304不銹鋼針閥
        接口規(guī)格:進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
        供電電源:AC:220V 50/60Hz

  2. 10、排氣系統(tǒng):產(chǎn)品型號TN-GZK103-A
         分子泵 TN-600     前極泵:旋片泵;   
         抽氣速率分子泵:600L/S   旋片泵:1.1L/S(  綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達(dá):1.0E-3Pa) 
         抽氣接口:KF40; 排氣接口:KF16
         真空測量復(fù)合真空計:電阻規(guī)+電離規(guī)
         極限真空:1.0E-5Pa
         供電電源:AC220V 50/60Hz


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